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真空系統(tǒng)常用名稱

訪問(wèn): / 發(fā)布時(shí)間:2020-07-07

真空系統(tǒng)常用名稱

1.主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

2.前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

3.粗抽泵:從大氣壓下開(kāi)始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。

4.維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。


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